氢氮配比装置应用于常州九天微电子

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氮氢混合配比原理

氮气通过质量流量计检测输出流量信号给控制器（氮气流量信号），经PID控制器计算后，输出控制信号（氢气流量信号）给氮气管路上的质量流量控制器来控制氮气流量，并由氢分仪检测混合气体中氢气的含量，同时输出信号给PID控制器，计算后输出信号给质量流量控制器修正氮气流量。由于氢分仪检测的是混合后氢气的含量，因此可以更精确地控制氮气中的氢含量。氮气与氢气在混合罐内混合后，再送到甲方的混合气储罐中。（适合氢多氮少的比例混气气氛中）